CS316是專為關(guān)鍵半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的壓力不敏感型質(zhì)量流量控制器，采用了壓力補(bǔ)償技術(shù)，減少前端壓力變化對(duì)瞬時(shí)流量的影響，從而保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持W型，C型IGS氣路系統(tǒng)。
創(chuàng)新點(diǎn)
電化學(xué)拋光技術(shù)
恒功率傳感技術(shù)
壓力補(bǔ)償技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
清潔能源—光伏
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | CS316 |
| 流量規(guī)格(N?) | (0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional)
±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional) |
| 漏率 | ≤5×10¹² Pa·m³/s |
| 響 應(yīng) 時(shí) 間 | ≤0.7 sec |
| 工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa流量規(guī)格≤10SLM
0.15~0.35MPa 流量規(guī)格>10SLM |
| 溫 度 系 數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.02%F.S./℃; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.05%F.S./℃ |
| 重 復(fù) 精 度 | ±0.2%F.S. |
| 線性 | ±0.5%F.S. |
| 壓力瞬變靈敏度 | 10~100sccm±(5%S.P+1%F.S.) 【3PSI/秒】
100~10SLM±(1%S.P+1%F.S.) 【5PSI/秒】 |
| 耐壓 | 3.5 MPa |
| 密 封 材 料 | 金屬密封 |
| 工作環(huán)境溫度 | (0~50) ℃ |
| 輸 入 信 號(hào) | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 輸 出 信 號(hào) | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 電源 | ±8~±16 VDC(雙極)或+14~+28 VDC (單極) |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4陽(yáng)接頭;1.125"C型密封接頭;1.125"W型密封接頭 |
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