D07-19 熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計根據(jù)毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理,設(shè)置模擬量程,不因溫度和壓力的波動而失準(zhǔn),無需進(jìn)行溫度、壓力補償即可實現(xiàn)對各種氣體精準(zhǔn)測量和控制。D07-19系列產(chǎn)品具有穩(wěn)定性高、易維護(hù)等特點。
創(chuàng)新點
數(shù)字內(nèi)核電路板
恒功率傳感器
數(shù)字傳感器補償技術(shù)
VCP的閥控技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
特種工業(yè)—石油化工
特種工業(yè)—光纖
特種工業(yè)—真空鍍膜
特種工業(yè)—熱處理
生命科學(xué)—環(huán)境保護(hù)
生命科學(xué)—食品工業(yè)
生命科學(xué)—生物工程
生命科學(xué)—醫(yī)療健康
生命科學(xué)—分析儀器
科學(xué)研究—實驗器材
技術(shù)指標(biāo)
型號 | D07-19B | D07-19J | D07-19JM |
流量規(guī)格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | ||
流量控制范圍 | 2~99% of F.S. | ||
準(zhǔn)確度 | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. | |
線性 | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2 % F.S. | ||
響應(yīng)時間 | ≤2 sec | ||
工作壓差范圍 | ≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa >10SLM: 0.1~ 0.3 MPa | 0.1 ~ 0.4 MPa (≤10SLM) 0.1 ~ 0.3 Mpa(10SLM<F.S.≤30SLM) 0.25~ 0.45 MPa (>30SLM) | <0.02 MPa (2.9 psid) |
工作壓力 | 1 MPa (145psig) | ||
耐壓 | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) | |
漏率 | 1×10-9Pa·m3/sec He | ||
溫度系數(shù) | Zero: ≤±0.05% F.S./℃; Span: ≤±0.1% F.S./℃; | ||
工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | ||
輸入信號 | 0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | 4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V | |
輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | 4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V | |
電源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | 24VDC 400 mA;+15V 50mA , - 15V 200mA | |
重量 | 0.95 kg | 1.2kg | 1.0 kg |