PS100 電容薄膜真空規(guī)具有測(cè)量精度高、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、光伏、真空、航空航天等裝備制造領(lǐng)域，本產(chǎn)品以超薄膜片為感壓元件，可精確測(cè)量工藝腔室或其它真空環(huán)境下的氣體壓力。
創(chuàng)新點(diǎn)
壓力實(shí)時(shí)測(cè)量
加熱功能
設(shè)定壓力/溫度指示
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
清潔能源-光伏
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | PS100 | |
| 指標(biāo) | 單位 | 規(guī)格參數(shù) |
| 量程Full Scale Ranges | Torr | 0.1 ~1000等（可定制） |
| 精度Accuracy | % of reading | ±0.15% ~ ±1% |
| 分辨率 Resolution | % of F.S. | 0.00% |
| 零點(diǎn)溫漂系數(shù)Zero Temperature Coefficient | % of F.S./℃ | 0.02%(0.03% for <10Torr) |
| 溫漂系數(shù)Span Temperature Coefficient | %of reading/℃ | 0.04% |
| 運(yùn)行溫度范圍Ambient Operating Temperature | ℃ | 15 ~ 40℃ |
| 加熱溫度 Sensor Heated Temperature | ℃ | 不加熱、45℃~200℃ |
| 預(yù)熱時(shí)間 Warm-up Time | h | 4 |
| 耐壓極限 Overpressure Limit | Psia | 45（量程 >1Torr) 30 (其它） |
| 工藝側(cè)材料Materials Exposed to Process Gases （excluding optional fittings） | / | 鎳基合金等 |
| 供電電壓Input Power Required | VDC | ±15V±10% DC 24V±10% DC |
| 輸出電壓Output Signal | VDC | 0 ~ 10V |
| Trip Relay規(guī)格Trip Relay Specifications | / | 2個(gè) |
| 電氣接口Electrical Connectors | / | D型15針陽(yáng)接頭、DeviceNet接頭、EtherCAT接頭 |
| 腔體檢測(cè)接口Connection Fittings | / | VCR1/2〞母接頭、VCR1/4〞母接頭、NW16-KF、NW25-KF 等 |
| 安裝方式 Install type | / | 豎放,水平 |
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