CVS100 真空開(kāi)關(guān)為真空設(shè)備、大氣開(kāi)關(guān)和真空壓力過(guò)程提供準(zhǔn)確可靠的保護(hù)。應(yīng)用于半導(dǎo)體加工工具、真空泵、壓縮機(jī)、鼓風(fēng)機(jī)、醫(yī)療設(shè)備和機(jī)床等。
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創(chuàng)新點(diǎn)
壓力實(shí)時(shí)測(cè)量,觸點(diǎn)可設(shè)置
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
特種工業(yè)-石油化工
生命科學(xué)-醫(yī)療健康
科學(xué)研究-實(shí)驗(yàn)器材
技術(shù)指標(biāo)
CVS電容薄膜真空開(kāi)關(guān)技術(shù)指標(biāo)
測(cè)量范圍
絕壓:10~1000Torr
允許壓力
45Psi
綜合精度
±0.5%F.S.
電源電壓
DC24V±10%
電源電流
Max 50mA,通常20mA以下
輸出信號(hào)
繼電器輸出(1NO,1NC)
設(shè)定輸出
2觸點(diǎn)/遲滯可設(shè)置
工作溫度
0~50℃
材料
鋁、鎳鉻鐵合金、不銹鋼
密封方式
焊接
氣密性
<1 x 10-11 atm.cc/s
接口
4VCR male、4VCR female、NW16-KF(可定制)
認(rèn)證
通過(guò)CE認(rèn)證