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EFEM設(shè)備前端模塊(Equipment Front End Module)能夠與各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備（刻蝕，PVD，CVD，清洗設(shè)備等）實(shí)現(xiàn)無(wú)縫連接，在高潔凈環(huán)境下，EFEM設(shè)備通過(guò)高精度機(jī)械手實(shí)現(xiàn)晶圓在晶圓裝載系統(tǒng)與工藝模塊之間的自動(dòng)化傳輸。晶圓裝載系統(tǒng)（Load Port）、晶圓運(yùn)輸機(jī)器人（Robot）、晶圓對(duì)準(zhǔn)器（Aligner）是最核心的三大部件。EFEM設(shè)備內(nèi)部帶有多重互鎖保護(hù)，保障晶圓傳輸過(guò)程中，人員與設(shè)備的安全。3工位EFEM設(shè)備具備3個(gè)Load Port，是一種常用的EFEM設(shè)備。