LPT100 液體壓力傳感器是一款為半導體技術發(fā)展需求而研制的高精度耐腐蝕的產品，主要應用于集成電路濕法制程中的CMP、清洗等設備上。
創(chuàng)新點
基于壓力信號采集和轉換技術
抗腐蝕傳感器結構設計
半導體級別潔凈度工藝
應用領域
半導體-集成電路
技術指標
| 型號 | LPT100 | |
| 材質 | 接液部分 | 本體：PTFE |
| 傳感器及接頭：PFA | ||
| 密封：全氟O圈 | ||
| 非接液部分 | PE，PP，PVDF等 | |
| 線纜 | FEP或AFPF包裹 | |
| 物理參數(shù) | 壓力范圍 | 0-30，0-60，0-100（psig） |
| 過載壓力 | 1.5*F.S. | |
| 接口類型 | 單端式 | |
| T型 | ||
| 機械接頭 | 1/4、3/8、1/2 Flared | |
| 1/4MNPT | ||
| 電氣參數(shù) | 供電電壓 | +24VDC |
| 輸出信號 | 4-20mA, 0-5V或0-10V | |
| 精度 | 1% F.S. | |
| 工作溫度 | 10-60℃ | |
| 線纜長度 | 1.5M | |
打印當前頁
發(fā)郵件給我們：