反應(yīng)腔室壓力控制器(Exhaust Pressure Controller，簡(jiǎn)稱 EPC)用于對(duì)氣體的壓力進(jìn)行精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。
創(chuàng)新點(diǎn)
基于機(jī)械氣浮活塞的多力平衡技術(shù)
帶有軟遲滯補(bǔ)償?shù)碾姍C(jī)變頻控制技術(shù)
氮?dú)夥礇_防腐蝕設(shè)計(jì)技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體/集成電路
半導(dǎo)體/封裝
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
清潔能源/光伏
科學(xué)研究/實(shí)驗(yàn)器材
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | EPC100 |
| 接觸氣體材料 | 聚四氟乙烯(PTFE) |
| 壓力類型 | 相對(duì)壓力 |
| 控制壓力范圍 | -3 ~ -23mmH2O、-3 ~ -50mmH2O |
| 進(jìn)氣流量范圍 | 0.3 ~ 50SLM |
| 安裝方式 | 水平安裝、垂直安裝 |
| 壓力控制精度 | 干氧工藝：S.P.±1mmH2O |
| 濕氧工藝：S.P.±2mmH2O | |
| 控制信號(hào) | 0~5V |
| 壓力檢測(cè)口 | φ6塔型接頭 |
| Drain 接口 | 1/4 NPT內(nèi)螺紋 |
| N2接口 | 1/4 卡套（40 psig ~80psig） |
| 機(jī)械進(jìn)出氣接口 | 1" female NPT |
| 供電電源 | ±15V |
| 電氣接口 | 控壓閥：DB-15針 |
| 控制盒：Conxall-10孔、DB-15孔、DB-9針 |
注意：
氣體壓力控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定
氣體壓力的單位規(guī)定為：Torr(托)；mbar(毫巴) ；mmH2O (毫米水柱)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產(chǎn)品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設(shè)定點(diǎn)值
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