DS312 是一款控制精度高、相應(yīng)速度快的質(zhì)量流量控制器（MFC），主要用于刻蝕機(jī)等對機(jī)器性能要求高的半導(dǎo)體機(jī)臺。
創(chuàng)新點(diǎn)
基于PTC（Pressure，Temperature，Channel）的壓力傳感技術(shù)
全新的壓電閥結(jié)構(gòu)原理技術(shù)
高精度的壓電閥驅(qū)動技術(shù)
符合SEMI要求的材料表面處理技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體—微機(jī)電系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
半導(dǎo)體—封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | DS312 |
| 流量規(guī)格 | 50~10000sccm （DS312C） |
| 50~5000sccm （DS312W） | |
| 閥類型 | 常閉 |
| 進(jìn)口壓力 | 240～450kPaA 流量規(guī)格≤5SLM |
| 350～450kPaA 流量規(guī)格＞5SLM | |
| 出口壓力 | ≤3.3kPaA （DS312C） |
| ≤13.3kPaA （DS312W） | |
| 耐壓 | 1Mpa |
| 工作溫度 | 10℃ ~ 45℃ |
| 外漏 | 1 x 10-11 Pa·m³ / sec He |
| 精度 ( 包含線性、標(biāo)定系統(tǒng)精度等) | <= ±1%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 重復(fù)精度 | <= ±0.3%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 響應(yīng)時間（流量達(dá)到設(shè)定點(diǎn)的±2%內(nèi)） | <= 0.5 sec |
| 標(biāo)準(zhǔn)電源接頭 | DeviceNet接頭 |
| 通訊協(xié)議 | DeviceNet |
| 標(biāo)準(zhǔn)氣路接頭 | IGS-C, IGS-W |
| 接氣部分材質(zhì) | F20 |
注：
1. F.S.： 滿量程full scale
2. kPaA：kPa，絕壓
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