CS312 質(zhì)量流量控制器采用新型低零漂傳感器和溫度補償技術(shù)，產(chǎn)品精度可達(dá)到設(shè)定值1%以內(nèi)，低溫度系數(shù)可保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、平板顯示等行業(yè)的工藝設(shè)備中，精確控制工藝氣體流量，具有低零漂、高精度、快響應(yīng)、耐腐蝕等特點。
創(chuàng)新點
恒功率傳感技術(shù)
電化學(xué)拋光技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體照明
特種工業(yè)—真空鍍膜
科學(xué)研究—實驗器材
技術(shù)指標(biāo)
| 技術(shù)名稱 | CS312 |
| 流量規(guī)格(N?) | (0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional) |
| 漏率 | ≤5×10?¹² Pa·m³/s |
| 響 應(yīng) 時 間 | ≤0.8 sec |
| 工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa流量規(guī)格≤10SLM 0.15~0.35MPa 10SLM<流量規(guī)格≤30SLM 0.30~0.50MPa 30SLM<流量規(guī)格≤50SLM |
| 溫 度 系 數(shù) | 零點: ≤±0.02%F.S./℃; 調(diào)節(jié)時: ≤±0.05%F.S./℃ |
| 重 復(fù) 精 度 | ±0.2% F.S. |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 耐壓 | 3.5MPa |
| 密 封 材 料 | 金屬密封 |
| 工作環(huán)境溫度 | (0~50) ℃ |
| 輸 入 信 號 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 輸 出 信 號 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 電源 | ±8~±16 VDC (雙極)或+14~+28 VDC(單極) |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4陽接頭;1.125"C型密封接頭;1.125"W型密封接頭 |
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