CS200 熱式數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器采用傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以內(nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量控制器的響應(yīng)時(shí)間方面更加岀色。
創(chuàng)新點(diǎn)
VCP的閥控技術(shù)
恒功率傳感器
數(shù)字傳感器補(bǔ)償技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體照明
清潔能源—光伏
清潔能源—?dú)淠苋剂想姵?
特種工業(yè)—石油化工
特種工業(yè)—光纖
特種工業(yè)—真空鍍膜
特種工業(yè)—熱處理
生命科學(xué)—環(huán)境保護(hù)
生命科學(xué)—食品工業(yè)
生命科學(xué)—生物工程
生命科學(xué)—醫(yī)療健康
生命科學(xué)—分析儀器
科學(xué)研究—實(shí)驗(yàn)器材
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | CS200 | ||||||
| 類號(hào) | A | C | D | ||||
| 流量規(guī)格(N?) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | |||||
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0%S.P.(≥35%F.S.); ±0.35%F.S.(<35%F.S.) | ||||||
| 線性 | ±0.5% F.S. | ||||||
| 重 復(fù) 精 度 | ±0.2% F.S. | ||||||
| 響 應(yīng) 時(shí) 間 | ≤ 1 sec | ≤0.8 sec(SEMI E17-0600) | ≤1 sec | ||||
| 閥類型 | Normally Closed or Normally Open | N/A | Normally Closed or Normally Open | N/A | Normally Closed or Normally Open | N/A | |
| 工作壓差范圍 | (0.05~0.35)MPa(≤10SLM)
(0.1~0.35)MPa10SLM
(0.2~0.45)MPa30SLM | <0.02MPa | (0.05~0.35) MPa(≤10SLM)
(0.1~0.35) MPa(>10SLM) | <0.02MPa | (0.05~0.35)MPa(≤10SLM)
(0.1~0.35)MPa(>10SLM) | <0.02MPa | |
| 溫 度 系 數(shù) | Zero:≤±0.05%F.S./C;
Span:≤±0.1%F.S./℃ Flow≤30SLM
≤±0.2%F.S./℃ Flow>30SLM | Zero:≤±0.02% F.S./℃;
Span:≤±0.05%F.S./℃ | |||||
| 工作壓力 | 0.45MPa | ||||||
| 耐壓 | 3MPa | ||||||
| 漏率 | 1×10?¹? Pa·m³/sec He(1×10?atm· cc/sec He) | 1×10?¹¹ Pa·m³/sec He(1×10?¹?atm· cc/sec He) | |||||
| 密 封 材 料 | Viton | Metal | Metal | ||||
| 表面化學(xué)成分 | ———— | Cr/ Fe ratio>2.0; CrO thickness >20 Angstroms | ———— | ||||
| 表面粗糙度 | 25 μinch Ra | 10 uinch Ra | 25 μinch Ra | ||||
| 工作環(huán)境溫度 | (5~45)℃ | (0~50)℃ | |||||
| 輸 入 信 號(hào) | Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus or EtherCAT;
Analog:(0~5)VDC
or(4~20)mA or(0~20)mA | N/A | Digital: RS485 or DeviceNet
or ProfiBusTK or EtherCAT ;
Analog:(0~5)VDC
or(4~20)mA or(0~20)mA | N/A | Digital: RS485 or DeviceNet"
or ProfiBus or EtherCAT;
Analog:(0~5)VDC
or(4~20)mA or(0~20)mA | N/A | |
| 輸 出 信 號(hào) | Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus or EtherCAT male; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA or (0~20)mA | ||||||
| 電源 | ±8~±16 VDC or+14~+28 VDC or+20.4~+26.4 VDC (EtherCAT) | ||||||
| 電 氣 連 接 | D sub 9 pin s male;D sub 15 pin s male; DeviceNet; ProfiBus or EtherCAT; Analog | ||||||
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4"M;VCO1/4"M;A-sael;
Compression Fittingφ10; Compression Fittingφ6;
Compression Fitting 3/8"; Compression Fittingl/4";
Compression Fittingl/8"; Compression Fittingφ3;
φ6(inner)×1hose;φ5(inner)×1.5hose;φ4(inner)×1hose | VCR1/4"M;
Compression Fittingφ6;
Compression Fittingφ3;
Compression Fittingl/4";
W-seal;C-seal | |||||
| 重量 | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
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