射頻匹配器是一種用于使負(fù)載阻抗與射頻電源的阻抗匹配，減少反射功率，使傳輸功率達(dá)到的設(shè)備。不同的匹配器，被設(shè)計(jì)成適用于單個(gè)頻率或多個(gè)頻率段，以滿足不同的應(yīng)用場景。
創(chuàng)新點(diǎn)
雙頻同步控制匹配算法
寬頻射頻傳感器
高可靠性接口技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
半導(dǎo)體-微機(jī)電系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
技術(shù)指標(biāo)
| 功率范圍 | 10W-45kW |
| 頻率范圍 | 400kHz/2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/60MHz雙頻組合 |
| 匹配速度 | ≤1s(合適預(yù)設(shè)) or 3s |
| 匹配精度 | ≤1%*前向功率 or 5W |
| 信號(hào)類型 | 連續(xù)波，脈沖波（SLP/DLP/MLP） |
| 通訊接口 | RS232/EtherCAT |
| 供電電壓 | 24V DC |
| 冷卻類型 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
| 阻抗范圍 | 根據(jù)客戶需求定制 |
| 機(jī)械尺寸 | 根據(jù)客戶需求定制 |
| 接口形式 | 根據(jù)客戶需求定制 |
| 應(yīng)用產(chǎn)品 | Etch, PECVD |
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