射頻匹配器是一種用于使負(fù)載阻抗與射頻電源的阻抗匹配,減少反射功率,使傳輸功率達(dá)到的設(shè)備。不同的匹配器,被設(shè)計(jì)成適用于單個(gè)頻率或多個(gè)頻率段,以滿足不同的應(yīng)用場景。
雙輸出匹配器廣泛應(yīng)用與刻蝕,薄膜沉積等半導(dǎo)體設(shè)備中,用于匹配等離子體設(shè)備中射頻電源與反應(yīng)腔室的阻抗,實(shí)現(xiàn)射頻功率傳輸?shù)椒磻?yīng)腔室中。