ESC DC Power即ESC直流電源，是一種專用于靜電卡盤（ESC）的直流高壓靜電電源，本產(chǎn)品為單極輸出電源，可同時提供正和負(fù)直流電壓，通過專用電纜和濾波電路，連接到靜電卡盤直流電極上，為靜電卡盤提供產(chǎn)生吸力的直流高壓。
創(chuàng)新點
具備極性反轉(zhuǎn)、放電功能
具備監(jiān)測功能
具備輸出保護(hù)機制
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | BE0400 |
| 電源輸入 | 24VDC，1A； |
| 輸出電壓 | 單極 4000Vdc |
| 輸出電流 | 0~10：0~2mA max |
| 輸出電壓線性誤差 | 30Vdc~+4000Vdc，1%以內(nèi)-30Vdc~-4000Vdc，1%以內(nèi) |
| 通訊方式 | 手動、25pin I/O，RS232 |
| CT(Center-Tap) | 無 |
| HV 對地隔離 | ＞10M |
| 輸入輸出隔離 | ＞500M |
| 極性反轉(zhuǎn) | 支持 |
| 放電功能 | 放電時，HV+或HV-端對地電阻為200kΩ±5% |
| 保護(hù)機制 | 過電壓保護(hù)可設(shè)置電流限制值 |
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