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ESC DC Power即ESC直流電源，是一種專用于靜電卡盤（ESC）的直流高壓靜電電源，本產(chǎn)品為雙極輸出電源，可同時(shí)提供正和負(fù)直流電壓，通過(guò)專用電纜和濾波電路，連接到靜電卡盤直流電極上，為靜電卡盤提供產(chǎn)生吸力的直流高壓。

ESC DC Power即ESC直流電源，是一種專用于靜電卡盤（ESC）的直流高壓靜電電源，本產(chǎn)品為單極輸出電源，可同時(shí)提供正和負(fù)直流電壓，通過(guò)專用電纜和濾波電路，連接到靜電卡盤直流電極上，為靜電卡盤提供產(chǎn)生吸力的直流高壓。

RPS電源是一款小型射頻電源，專用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，在氧化物、氮化物清洗工藝中有著廣泛的應(yīng)用。RPS電源為模擬系統(tǒng)控制，可通過(guò)自調(diào)頻系統(tǒng)進(jìn)行功率輸出調(diào)節(jié)，輸出功率以電流反饋的形式進(jìn)行采集。電源自帶功率輸出對(duì)插接口，可穩(wěn)定輸出48KHz-92KHz的高壓正弦波，并維持等離子體的穩(wěn)定性。