VS100 真空壓力開關利用壓阻式壓力傳感器，來檢測介質的壓力變化，與預設的壓力動作點進行比較，將壓力轉換為開關量信號。應用于集成電路、封裝、半導體照明、功率半導體、化合物半導體領域。
創(chuàng)新點
動作壓力點可設定有效減少物料種類和客戶庫存品類
精度高
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體照明
功率半導體
化合物半導體
技術指標
| 型號 | VS100 | |
| 量程及壓力動作點設定 | 量程 | 壓力動作點設定 |
| 絕壓750Torr | 75～735Torr | |
| 絕壓1000Torr | 20～990Torr | |
| 表壓-750～750Torr | -150～110Torr | |
| 注：壓力動作點設定值一般為1%*FS～99%*FS | ||
| 默認設置 | 通用型號默認為：上限報警，動作點99%FS, 遲滯2%FS。 設定時，需使用供應商提供的專用軟件及線纜。 | |
| 精度 | ±0.5%FS | |
| 漏率 | <1x10-9atm.cc/sec He | |
| 溫漂系數(shù) | 0.1% FS/℃ | |
| 運行溫度范圍 | 0～80℃ | |
| 耐壓極限 | 額定壓力的2倍 | |
| 爆破壓力 | 額定壓力的5倍 | |
| 工藝側材料 | 316L Ss SEMI F20/Hastelloy C-276 | |
| 供電電壓 | 24V±10%VDC | |
| 輸出 | 無源觸點繼電器輸出(1NO,1NC) 不上電時，NO為打開，NC為關閉 | |
| 電氣接口 | 散線/DB9 male | |
| 動作點設置方式 | 出廠前設定/客戶端設定 | |
| 接口類型 | 1.125“C-seal/1.125”W-seal/4VCR/KF25(NW25)/KF16 | |
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