PC300 壓力控制器是帶有完整流量計功能的壓力控制器，主要應(yīng)用于半導體領(lǐng)域，例如在晶圓背面冷卻系統(tǒng)中，用來控制硅片背面的冷卻氣體的壓力，如氦氣、氮氣、氬氣等特殊氣體。
創(chuàng)新點
產(chǎn)品全數(shù)字化
雙重控制技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
半導體-微機電系統(tǒng)
功率半導體
化合物半導體
技術(shù)指標
| 型號 | PC300 |
| 滿量程流量 | (10 20 50 100 200 500 5000)SCCM |
| 滿量程壓力 | (10 20 50 100)Torr |
| 控制方式 | Downstream |
| 壓力控制精度 | ±0.2% of F.S. |
| 控制重復性 | ±0.2% of F.S. |
| 響應(yīng)時間 | <1.0 Second |
| 工作溫度范圍 | 10℃ to 50℃ |
| 閥類型 | Normally Closed |
| 漏率 | <1x10-12(SCC/SEC He) |
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