PC100 壓力控制器是數(shù)字型壓力控制產(chǎn)品，為氣體壓力的控制、測量提供了高準(zhǔn)確度及高可靠性?？赏瑫r(shí)支持?jǐn)?shù)字信號和0~5V模擬信號，使用單電源供電。另外，標(biāo)準(zhǔn)開放的通訊協(xié)議可為客戶自行開發(fā)控制、采集軟件提供便利。
創(chuàng)新點(diǎn)
基于PTS的壓力傳感技術(shù)
基于AI的壓力控制技術(shù)
全金屬耐腐蝕技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-顯示
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-照明
清潔能源-光伏
技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | PC100 |
| 壓力類型 | 絕壓 |
| 控制壓力的滿量程 | 1000Torr、1200mbar |
| 耐壓 | 3MPa |
| 閥口滿量程流量 | 50、500sccm; 1、2、3、5SLM |
| 控制方式 | 上游 |
| 溫度系數(shù) | Zero:±0.02% of F.s./℃；Span: ±0.04% of Reading/℃ |
| 壓力分辨率 | 0.1 Torr |
| 壓力控制精度 | ±1.0% of Reading (≥10%FS); ±0.2% of F.S.(<10%FS ) |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <1.0 S |
| 工作溫度范圍 | 10℃~50℃ |
| 機(jī)械接口 | 雙卡套 1/4"、 VCR 1/4”陽接頭 |
| 閥類型 | 常閉 |
| 外漏 | <1x10-10(scc/sec He) |
| 內(nèi)漏 | <1.0% of 閥口滿量程流量（閥關(guān)閉時(shí)，進(jìn)氣端為 25 psig，出氣端為大氣） |
| 供電電源 | +15 ~ +24 VDC(<4 watts) |
| 電氣接口 | DB-9 針、EtherCAT接頭 |
注意：
氣體壓力控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
氣體壓力的單位規(guī)定為：Torr(托)；mbar(毫巴)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產(chǎn)品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設(shè)定點(diǎn)值
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