PC200 壓力控制器

簡要描述：

PC200 壓力控制器用于對氣體的壓力進(jìn)行精密控制和測量。主要應(yīng)用于與半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等領(lǐng)域。

分享到：

創(chuàng)新點(diǎn)

支持雙電源寬范圍供電

使用±15VDC供電，雙電源寬范圍供電，電流小，功耗低。

模擬電壓四種組合形式

模擬電壓輸入和輸出有四種組合形式，可供選擇。

上下游控壓

上下游均可以實(shí)現(xiàn)控壓，通過轉(zhuǎn)換通道的流向，軟件改變上下游控制參數(shù)，即可切換控壓模式。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體-集成電路

半導(dǎo)體-顯示

生命科學(xué)-分析儀器

科學(xué)研究-實(shí)驗(yàn)器材

技術(shù)指標(biāo)

型號	PC200
壓力類型	絕壓、表壓
控制壓力的滿量程	絕壓：1000Torr、2000Torr； 300Kpa、3000mbar 表壓：500Kpa
耐壓	3MPa
閥口滿量程流量	200sccm; 1、2、4、5、10、15、50SLM
控制方式	上游、下游
溫度系數(shù)	Zero: ±0.02% of F.s./℃；Span: ±0.04% of Reading/℃
壓力分辨率	0.1 Torr
壓力控制精度	±0.5% of F.S.
響應(yīng)時(shí)間	<1.0 S
工作溫度范圍	5℃~50℃
機(jī)械接口	VCR1/4"陽接頭、VCR3/8"陽接頭
閥類型	常閉、常開
外漏	<5x10^-12(Pa.m³/s He)
內(nèi)漏	<1.0% of 閥口滿量程流量 (閥關(guān)閉時(shí)，進(jìn)氣端為25psig，出氣端為大氣)
供電電源	+15~+24VDC(單級)、±15VDC(雙極，僅支持DB-9針接口)
電氣接口	DeviceNet接頭、DB-9針、EtherCAT接頭

注意：

氣體壓力控制器出廠通常用氮?dú)?N₂)標(biāo)定。

氣體壓力的單位規(guī)定為：Torr (托); mbar(毫巴); KPa (千帕);

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）

在華丞電子 PC 產(chǎn)品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。

F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設(shè)定點(diǎn)值