BV100 蝶閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，平板顯示，晶體硅太陽(yáng)能和工業(yè)制程中，用于控制腔室的下游壓力。
創(chuàng)新點(diǎn)
雙路自匹配壓力傳感技術(shù)
L-V-P壓力控制技術(shù)
伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體顯示
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | BV100 |
| 濕度 | 0~95%RH |
| 接口類(lèi)型 | D-sub female，DA15 |
| 信號(hào)電壓 | 0 ~ 10VDC 線性壓力 |
| ADC分辨率 | 0.1 mV |
| 采樣時(shí)間 | 2ms |
| 供電電壓( 輸出 ) | +24 VDC / 1.5A max. |
| 執(zhí)行器 | 步進(jìn)電機(jī) |
| 電機(jī)分辨率 | 12800( 90°） |
| 控壓精度 | 5 mV 或設(shè)定點(diǎn)的0.1%，取大值 |
| 防護(hù)等級(jí) | IP 40 |
| 通道內(nèi)徑 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm |
| 閥板開(kāi)關(guān)時(shí)間 | 0.2s |
注意：
蝶閥出廠通常用電壓對(duì)傳感器信號(hào)進(jìn)行標(biāo)定
氣體壓力的單位規(guī)定為: Torr (托)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 -- 273.15K (0℃) ; 氣壓 -- 101325 Pa(760mm Hg)
F.S.(Full Scale): 滿量程值; S.P.(Set Point): 設(shè)定點(diǎn)值
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