FV100 汽化器是一種將前驅(qū)體液體霧化形成液滴氣溶膠，然后流入高效熱交換器形成蒸汽設(shè)備。以提供基本上不含顆粒污染物的高純度氣體或蒸汽混合氣，用于半導(dǎo)體薄膜沉積和工業(yè)涂層應(yīng)用的CVD、PECVD、ALD薄膜沉積。
創(chuàng)新點(diǎn)
汽化效率高
節(jié)省空間
半導(dǎo)體-集成電路
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| 型號 | FV100 | type |
| 尺寸 | mm×mm×mm | Size |
| 重量 | 1.3kg | Weight |
| 接頭 | 進(jìn)氣：1/4”VCR; 進(jìn)液：1/8”VCR×2；出口：1/2”VCR | Joint |
| 材質(zhì) | 316L | Mterial |
| 漏率 | <1×10-8 scc/sec Helium | Lake rate |
| 加熱器規(guī)格 | 208 VAC, 60Hz, 400W | Heater |
| 載氣 | 惰性氣體 | Carrier gas |
| 液體流量范圍 | 0-10g/min(TEOS) | Flow range |
| 系統(tǒng)可承受壓力 | 1.0MPa | Position resolution |
| 溫度傳感器種類 | Type K Thermocouple | Temperature sensor |
| 安裝位置 | any | Mounting position |
| 耐壓 | 1.0 Mpa | Pressure resistance |
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