IGS氣路系統(tǒng)是專為半導體領域研發(fā)的新型氣路輸送解決方案。它采用氣體直路方向運輸設計，體積小巧，便于安裝與維護，滿足零部件小型化需求。華丞電子憑借多年研發(fā)經(jīng)驗，賦予其高密封性、高精度和高集成度特點，并依托特殊氣體實驗室，確保特殊氣體控制的高準確性，這也是未來IGS氣路系統(tǒng)的發(fā)展方向。
創(chuàng)新點
在設備工藝管路中實現(xiàn)對流體的多種控制，包括輸送、混合、過濾、分流、流量控制等。
為設備工藝管路中的多種特氣的運行提供安全保障
使用高純器件，在可控環(huán)境中為腔室及真空管路提供超凈環(huán)境。
應用領域
半導體照明
半導體—集成電路
技術指標
| 型號 | 標 準 |
| 零部件入庫檢查 | 形狀與尺寸與圖紙一致，實物型號與部件表的型號一直 |
| 安裝標準 | 各閥門儀表流向、安裝位置與圖紙要求一致，管道平整 |
| 保壓 | 12小時壓降≤1% |
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m³/S |
| 顆粒度 | 連續(xù)3次測試，0.1um以下的顆粒數(shù)≤3個 |
| 水分 | ≤10ppb |
| 氧分 | ≤10ppb |
| 焊接標準 | 無明顯焊疤，焊接部位表面無傷痕、臟污、燒痕去除 |
| 焊道偏離范圍小于壁厚 20%以內(nèi)、焊道勻直、無明顯外凸內(nèi)凹及錯位現(xiàn)象 | |
| 外觀標準 | 外觀整潔，各部位無明顯磕傷 |
| 元器件標簽、接口方式等與圖紙一致 | |
| 目視檢查氣柜內(nèi)部有無腐蝕、霧化或變色等信息 |
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