VCR氣路系統(tǒng)主要采用VCR密封形式，整體氣路系統(tǒng)由質(zhì)量流量控制器、隔膜閥、調(diào)壓閥、壓力傳感器、過濾器及不銹鋼管件接頭等部件組合而成，能夠根據(jù)客戶需求提供多種解決方案。
創(chuàng)新點(diǎn)
在設(shè)備工藝管路中，實(shí)現(xiàn)了對流體的輸送、混合、調(diào)試、控制（包括開關(guān)、減壓、過濾、分流、流量控制等）。
設(shè)備工藝管路中氣體混合過程中的安全保障。
設(shè)備客戶工藝設(shè)計(jì)解決方案。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體照明
清潔能源—光伏
特種工業(yè)—光纖
特種工業(yè)—真空鍍膜
生命科學(xué)—分析儀器
科學(xué)研究—實(shí)驗(yàn)器材
技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | 標(biāo) 準(zhǔn) |
| 零部件入庫檢查 | 形狀與尺寸與圖紙一致，實(shí)物型號與部件表的型號一直 |
| 安裝標(biāo)準(zhǔn) | 各閥門儀表流向、安裝位置與圖紙要求一致，管道平整 |
| 保壓 | 12小時(shí)壓降≤1% |
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m³/S |
| 焊接件標(biāo)準(zhǔn) | 無明顯焊疤，焊接部位表面無傷痕、臟污、燒痕去除 |
| 焊道偏離范圍小于壁厚 20%以內(nèi)、焊道勻直、無明顯外凸內(nèi)凹及錯(cuò)位現(xiàn)象 | |
| 外觀標(biāo)準(zhǔn) | 外觀整潔，各部位無明顯磕傷 |
| 元器件標(biāo)簽、接口方式等與圖紙一致 | |
| 目視檢查氣柜內(nèi)部有無腐蝕、霧化或變色等信息 |
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