VD-03擴散器采用粉末冶金工藝制備的金屬多孔材料濾芯。濾芯在燒結(jié)過程中形成的大量微米級孔道能實現(xiàn)氣體勻化和層流化，保證氣體的通過性，達(dá)到較短的Vent-up時間。同時，這種微觀結(jié)構(gòu)強化了對亞微米顆粒吸附、擴散等過濾效應(yīng)，具有過濾最小粒徑0.0015μm顆粒的能力。擴散器殼體可以選用316L VV材料并進(jìn)行EP處理，擴散器耐腐蝕性得到進(jìn)一步提高。的焊接工藝保證了多孔材料濾芯與殼體的牢固結(jié)合，使擴散器整體具有高強度。
創(chuàng)新點
低氣阻和高效過濾的平衡
微弧多孔材料焊接
提供定制化方案
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體照明
技術(shù)指標(biāo)
| 性能 | 指標(biāo) |
| Vent Efficiency | 20psig時，~0.5sec/L |
| Particle Shedding | 按SEMI F43， particle above background(＜1particle/ft3) |
| 過濾精度 | 0.0015μm |
| 濾芯材料 | 316L |
| 殼體材料 | 316L或316L VV★可選 |
| Wetted surface finish | Ra0.2μm(10Ra)或Ra0.1μm(5Ra)可選 |
| 進(jìn)氣接口 | ¼”Male Swivel VCR（外螺紋） |
| 出氣接口 | ISO NW50 |
| O型圈材質(zhì) | Viton |
| 端面環(huán)形密封槽 | 外徑68.5mm×內(nèi)徑60.5mm×深2.6mm |
| 使用溫度 | 惰性氣氛下，460°C（僅金屬）；100°C（含O型圈） |
| 工作壓力 | 60psig（4.1barg） |
| 工作壓差 | 75psid（5.2bar） |
| 結(jié)構(gòu)特點 | 擴散器為焊接結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)強度高，顆粒少 |
| 使用壽命 | 300萬次 |
注：進(jìn)、出氣接口型式、擴散器尺寸、濾芯材料可按客戶要求定制；
注★：316L VV是指采用VIM+VAR雙真空冶煉工藝的高潔凈度316L不銹鋼，具有高耐腐蝕性。
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