VD-03擴(kuò)散器采用粉末冶金工藝制備的金屬多孔材料濾芯。濾芯在燒結(jié)過(guò)程中形成的大量微米級(jí)孔道能實(shí)現(xiàn)氣體勻化和層流化，保證氣體的通過(guò)性，達(dá)到較短的Vent-up時(shí)間。同時(shí)，這種微觀結(jié)構(gòu)強(qiáng)化了對(duì)亞微米顆粒吸附、擴(kuò)散等過(guò)濾效應(yīng)，具有過(guò)濾最小粒徑0.0015μm顆粒的能力。擴(kuò)散器殼體可以選用316L VV材料并進(jìn)行EP處理，擴(kuò)散器耐腐蝕性得到進(jìn)一步提高。的焊接工藝保證了多孔材料濾芯與殼體的牢固結(jié)合，使擴(kuò)散器整體具有高強(qiáng)度。
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VCR氣路系統(tǒng)主要采用VCR密封形式，整體氣路系統(tǒng)由質(zhì)量流量控制器、隔膜閥、調(diào)壓閥、壓力傳感器、過(guò)濾器及不銹鋼管件接頭等部件組合而成，能夠根據(jù)客戶需求提供多種解決方案。
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IGS氣路系統(tǒng)是專為半導(dǎo)體領(lǐng)域研發(fā)的新型氣路輸送解決方案。它采用氣體直路方向運(yùn)輸設(shè)計(jì)，體積小巧，便于安裝與維護(hù)，滿足零部件小型化需求。華丞電子憑借多年研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，賦予其高密封性、高精度和高集成度特點(diǎn)，并依托特殊氣體實(shí)驗(yàn)室，確保特殊氣體控制的高準(zhǔn)確性，這也是未來(lái)IGS氣路系統(tǒng)的發(fā)展方向。
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