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PT100 壓力變送器利用壓阻式壓力傳感器，來檢測(cè)介質(zhì)的壓力變化，并將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出；可測(cè)量氣路盤、工藝腔和傳輸腔等位置的壓力變化；廣泛應(yīng)用于集成電路、封裝、半導(dǎo)體照明、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

反應(yīng)腔室壓力控制器(Exhaust Pressure Controller，簡(jiǎn)稱 EPC)用于對(duì)氣體的壓力進(jìn)行精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。

LPT100 液體壓力傳感器是一款為半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展需求而研制的高精度耐腐蝕的產(chǎn)品，主要應(yīng)用于集成電路濕法制程中的CMP、清洗等設(shè)備上。