PC200 壓力控制器用于對(duì)氣體的壓力進(jìn)行精密控制和測(cè)量。主要應(yīng)用于與半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等領(lǐng)域。
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PC100 壓力控制器是數(shù)字型壓力控制產(chǎn)品，為氣體壓力的控制、測(cè)量提供了高準(zhǔn)確度及高可靠性?？赏瑫r(shí)支持?jǐn)?shù)字信號(hào)和0~5V模擬信號(hào)，使用單電源供電。另外，標(biāo)準(zhǔn)開放的通訊協(xié)議可為客戶自行開發(fā)控制、采集軟件提供便利。
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PC300 壓力控制器是帶有完整流量計(jì)功能的壓力控制器，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，例如在晶圓背面冷卻系統(tǒng)中，用來控制硅片背面的冷卻氣體的壓力，如氦氣、氮?dú)?、氬氣等特殊氣體。
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VS100 真空壓力開關(guān)利用壓阻式壓力傳感器，來檢測(cè)介質(zhì)的壓力變化，與預(yù)設(shè)的壓力動(dòng)作點(diǎn)進(jìn)行比較，將壓力轉(zhuǎn)換為開關(guān)量信號(hào)。應(yīng)用于集成電路、封裝、半導(dǎo)體照明、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域。
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VG200 電容薄膜真空規(guī)具有測(cè)量精度高、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、光伏、真空、航空航天等裝備制造領(lǐng)域，本產(chǎn)品以超薄膜片為感壓元件，可精確測(cè)量工藝腔室或其它真空環(huán)境下的氣體壓力。
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PS100 電容薄膜真空規(guī)具有測(cè)量精度高、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、光伏、真空、航空航天等裝備制造領(lǐng)域，本產(chǎn)品以超薄膜片為感壓元件，可精確測(cè)量工藝腔室或其它真空環(huán)境下的氣體壓力。
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