CS330C、D型 MFC是全金屬密封大流量的數(shù)字型產(chǎn)品，為氣體質(zhì)量流量的控制、測量提供了高準(zhǔn)確度及高可靠性。該型產(chǎn)品支持提供數(shù)字信號，0~5V模擬信號，4~20mA模擬信號，可以使用雙電源（±8~±16VDC）或單電源(+14~+28 VDC)。
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CS312 質(zhì)量流量控制器采用新型低零漂傳感器和溫度補償技術(shù)，產(chǎn)品精度可達到設(shè)定值1%以內(nèi)，低溫度系數(shù)可保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、平板顯示等行業(yè)的工藝設(shè)備中，精確控制工藝氣體流量，具有低零漂、高精度、快響應(yīng)、耐腐蝕等特點。
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DS312 是一款控制精度高、相應(yīng)速度快的質(zhì)量流量控制器（MFC），主要用于刻蝕機等對機器性能要求高的半導(dǎo)體機臺。
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