D07-9 熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)根據(jù)毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理，設(shè)置模擬量程，不因溫度和壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，無需進(jìn)行溫度、壓力補(bǔ)償即可實(shí)現(xiàn)對(duì)各種氣體精準(zhǔn)測(cè)量和控制。D07-9系列產(chǎn)品是華丞電子研發(fā)高精度、快速響應(yīng)的模擬產(chǎn)品。
查看詳細(xì)介紹
CS210 熱式數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器是一款數(shù)模兼容的熱式原理產(chǎn)品，可廣泛應(yīng)用于光伏、燃料電池、真空等行業(yè)，用于控制工藝制程的氣體流量，具有高精度、高穩(wěn)定性、低零漂等特點(diǎn)。
查看詳細(xì)介紹
CS200 熱式數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器采用傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以內(nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量控制器的響應(yīng)時(shí)間方面更加岀色。
查看詳細(xì)介紹
CS230A產(chǎn)品是華丞電子研發(fā)的中大流量產(chǎn)品,流量可達(dá)300SLM氮?dú)?并可實(shí)現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式;產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面更加出色,最多2秒的高速響應(yīng)將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化,流量更加精準(zhǔn),產(chǎn)品具備低零漂、低溫漂性能,產(chǎn)品支持 DeviceNet,RS485通訊協(xié)議。
查看詳細(xì)介紹
CS100產(chǎn)品是基于華丞電子CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺(tái)開發(fā)，在擁有恒功率傳感器技術(shù)，數(shù)字傳感器平衡技術(shù)，VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上，采用客戶定制化設(shè)計(jì)，客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品，同時(shí)其的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能(CGC)，能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問題，使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境。
查看詳細(xì)介紹
CS316是專為關(guān)鍵半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的壓力不敏感型質(zhì)量流量控制器，采用了壓力補(bǔ)償技術(shù)，減少前端壓力變化對(duì)瞬時(shí)流量的影響，從而保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持W型，C型IGS氣路系統(tǒng)。
查看詳細(xì)介紹
